苏州珂玛材料科技股份有限公司（301611.SZ）1月9日披露，公司正在推进可转换债券发行计划，募集资金将重点用于建设静电卡盘生产线并扩建陶瓷加热器产能，以提升半导体设备关键零部件的国产替代能力。公司目前陶瓷加热器已实现量产并稳定应用于下游晶圆制造环节，静电卡盘则处于小规模量产与技术验证阶段。
珂玛科技管理层介绍，公司发行的可转债项目已被深交所受理，正在审核过程中。配套建设方面，陶瓷加热器产线已完成从租赁场地向自有“先进材料生产基地”的迁移，并配备专用净化设施。此次可转债募集资金将支持静电卡盘产能建设，进一步提升国产零部件对进口设备的替代能力。
在产品性能方面，公司自2023年第四季度起大批量交付陶瓷加热器，已在终端客户的薄膜沉积工艺中广泛应用，满足使用性能要求。未来将继续优化产品配方与制程，加强材料耐腐蚀性、高温稳定性及等离子控制能力，以延长产品寿命并提升性能。
关于静电卡盘进展，公司指出，该产品起步晚于陶瓷加热器，仍处于早期产业化阶段。已完成12英寸ICP/CCP刻蚀机Monopolar静电卡盘的客户验证，并实现小批量出货；多区加热静电卡盘产品亦已交付测试。由于所用材料差异（氧化铝 vs 氮化铝）及工艺流程不同，技术壁垒较高，公司计划通过建设静电卡盘基地形成全面制程能力，提升产品良率及定制化能力。
在外延发展方面，珂玛科技于2025年7月完成对苏州铠欣半导体的收购，切入CVD碳化硅涂层及块体陶瓷市场，强化碳化硅材料产品体系并拓展服务能力。管理层表示，未来将继续围绕半导体设备零部件、陶瓷材料的多元应用方向以及上游粉末材料等领域寻找合适并购机会，推动业务协同与产业链延伸。
公司强调，若有相关并购计划，将依规履行信息披露义务。目前，苏州铠欣的整合工作在销售、供应链、组织架构等方面已顺利推进，有望进一步提升公司在半导体高端陶瓷零部件市场的竞争力。